硅锭不合格品
严重线痕、厚薄片:TV>220±60μm。
崩边片:有缺损但可以改Φ103的硅片。
气孔片:硅片中间有穿孔
。
外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差>1.5mm。
菱形片(垂直度):任意两边的夹角>90°±0.8。
凹痕片:硅片两面凹痕之和>30μm。
脏
片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。
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