超精加工是采用装在振动头上的细粒度油石对精加工表面进行精整加工。砂带磨削是采用高速运转的环形砂带加工工件表面的磨削。镜面磨削是达到表面粗糙度的磨削方法。磨削后的工件，表面粗糙度不大于0.01微米，光如镜面，可以清晰成像。精密加工在制造业中处于十分重要的地位，常用于精密丝杠、精密齿轮、精密蜗轮、精密导轨和精密轴承等关键零件的加工。

精密加工工艺是指加工精度以及表面光洁程度高于各相应加工方法精加工的各种加工工艺。精密切削加工是依靠精度高、刚性好的机床和精细刃磨的刀具用很高或极低的切削速度、很小的切深和进给量在工件表面切去极薄一层金属的过程，显然，这个过程能显著提高零件的加工精度。

由于切削过程残留面积小，又限度地排除了切削力、切削热和振动等的不利影响，因此能有效地去除上道工序留下的表面变质层，加工后表面基本上不带有残余拉应力，粗糙度也大大减小，极大地提高了加工表面质量。高光洁高精度磨削包括精密磨削、超精密磨削和镜面磨削。

20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等技术的需要而发展起来的精度的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。